Titre : Mesure de l’adhérence et des propriétés mécaniques de couches minces par des essais dérivés de la nanoindentation. Application à la microélectronique et au biomédical

Adhesion and mechanical properties measurement of thin films by tests based on nanoindentation. Application to microelectronics and biomedical   

Sébastien Roy (1981-...)
Evelyne Darque-Ceretti (1949-....). Directeur de thèse
Éric Felder (1947-....). Directeur de thèse
École nationale supérieure des mines (Paris)


2008
1 vol. (170 p.) ; 30 cm

xx Microélectronique-- Thèses et écrits académiques
xx Cuivre-- Couches minces -- Thèses et écrits académiques
xx Biomatériaux-- Thèses et écrits académiques
xx Matériaux-- Propriétés mécaniques
xx -- Thèses et écrits académiques
xx Simulation par ordinateur-- Thèses et écrits académiques

Bibliographie 90 réf.


Exemplaires

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LocalisationCoteSituation
Bib. Paris   EMP 153.941 CCL. TH. 1220
Bib. Paris   EMP 153.942 CCL. TH. 1220
Sophia Antipolis   EMS T-CEMEF-340