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Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis & microlithography : proceedings of the 1st Pfefferkorn Conference, held april 18 to 23, 1982, at the Asilomar Conference Center, Monterey, Ca / Ed. by David F. Kyser, Heinz Niedrig, Dale E. Newbury, Ryuichi Shimizu ; Managing ed. Daniel Halibay

Auteur secondaire : : Halibey, Daniel, Editeur scientifique;Kyser, David F, Editeur scientifiqueAuteur secondaire collectivité : Pfefferkorn Conference, 1, 1982Titre uniforme : Electron Beam Interactions with Solids for Microscopy, Microanalysis and MicrolithographyPublication :AMF O'Hare (Chicago) Ill : Scanning Electron Microscopy, cop. 1984Description : xii, 372 p : ill ; 29 cmISBN : 0-931288-30-4.Sujet - Nom d'actualité : Faisceaux électroniques ;Microscopie électronique ;Physique de l'état solide Sujet : Spectrométrie électron ;Solide ;Rétrodiffusion ;Microscopie ;Microanalyse ;Lithographie ;Faisceau électronique ;Diffusion électron
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