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Fundamental electron and ion beam interactions with solids for microscopy,microanalysis and microlithography

Publication :Amf O'Hare : Scanning microscopy international, 1990Description : 370 p. ; 30 cmISBN : 0-931288-46-0.Sujet : Spectrométrie perte énergie ;Microscopie électronique balayage ;Spectrométrie électron ;INTERACTION ELECTRONIQUE ;INTERACTION IONIQUE ;Microanalyse ;Lithographie
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Bib. Evry
EMC 3269 Sur demande Bibliotheque de Corbeil

Scanning microscopy supplement,1990,4

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