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Excimer lasers / edited by Lucien D. Laude

Auteur secondaire : : Laude, Lucien D.Auteur secondaire collectivité : Organisation du traité de l'Atlantique nord, Division des affaires scientifiques;NATO Advanced Study Institute on Excimer Lasers: the Tools, Fundamental Processes, and Applications, 1993Publication : Dordrecht, Boston : Kluwer Academic Publishers, c1994Description : xi, 495 p. : ill. ; 25 cmISBN : 0-7923-2819-1.Collections : NATO ASI series, 265Dewey: 621.36/63, 20Bibliographie: Includes bibliographical references and index..Sujet - Nom d'actualité : Lasers à excimère Sujet - Forme : Actes de congrès Sujet : Laser ;Excimère ;LASER GAZ ;Technologie ;Ablation ;Utilisation ;Microélectronique ;Métallurgie ;Céramique ;Polymère ;Dépot chimique phase vapeur ;Faisceau laser ;Irradiation laser
Current location Call number Status Notes Date due Barcode
Bib. Evry
EMC 3572 Sur demande Bibliotheque de Corbeil

Includes bibliographical references and index.

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