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Technology of proximal probe lithography / Christie R.K. Marrian, editor

Auteur secondaire : : Marrian, Christie R. K.Pays : wa.Publication : Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press, c1993Description : xi, 413 p. : ill. ; 26 cmISBN : 0-8194-1232-5 ; 0-8194-1233-3.Dewey: 621.3815/31Bibliographie: Includes bibliographical references..Sujet : Faisceau électronique ;Nanotechnologie ;Lithographie ;Electronique moléculaire
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Bib. Paris
Salle de lecture
EMP 113.013 AMPHI Available EMP53530D

Includes bibliographical references.

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