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/ F. Cacho, G. Cailletaud, R. MolinsEtude et simulation du procédé de siliciuration du nickel pour les applications CMOS, F. Cacho, G. Cailletaud, R. Molins

Auteur principal : CACHO, Florian;Molins, Régine;Cailletaud, Georges, 1955-...., chercheur en mécanique des matériauxAuteur secondaire collectivité : ENSMP MAT, Centre des matériaux, Evry, EssonnePublication : ENSMP, 2004Description : 4 p. : Ill. ; 30 cmSujet : Changement phase ;Cinétique ;Contrainte thermique ;Couche mince ;Courbure ;Croissance ;Nickel ;Siliciure Sujet Catégorie : MATERIAUX
Current location Call number Status Date due Barcode
Bib. Paris
EMP 151.782 CCL.5883 Available EMP74188D

Extr. de : "Mécanismes et mécanique des matériaux et structures à longueur interne : comportement et effets d'échelles", Colloque national MECAMAT, Aussois, 25-30 janvier 2004

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